电学测试台
Inline WAT:在inter-metal阶段对器件进行测试,以监控早期工艺波动。Final WAT:在wafer整个制程完成后对器件进行测试,以全面评估产品质量和工艺稳定性。测试机台 WAT自动测试需要使用特定的测试机台,主要是Keithley和Agilent的测试机。
PSM-4K闭循环低温探针台是一种专为极低温环境下的电学测试设计的设备,其核心功能和技术特点如下:核心制冷与控温系统闭循环制冷机制冷:设备通过闭循环制冷机实现无需外部液态制冷剂(如液氦)的持续制冷,降低了运行成本和依赖性。
器皿探针台是一种为满足温度、气氛、真空、湿度等多样化试验环境需求而设计的新型试验器材,具备体积小、控制精度高、使用成本低等显著优势。以下从光学特性、结构特性、电学特性三方面详细介绍:光学特性光路设计:采用反射光路结构,可有效引导光线至样品表面,满足特定光学测试需求。

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