ZYGO:白光干涉仪如何选择干涉物镜?
综上所述，在选择ZYGO白光干涉仪的干涉物镜时，应综合考虑光学分辨率、工作距离、齐焦距离、坡度能力、视场范围以及镜头类型等因素，并根据被测样品的特性和测试需求进行具体选择。如有需要，建议咨询ZYGO中国团队以获取更专业的建议和支持。
选择ZYGO白光干涉仪的干涉物镜时，应考虑以下几个关键因素：数值孔径：数值孔径决定了干涉仪的光学分辨率。较高的数值孔径通常意味着更高的分辨率，能够捕捉到更精细的表面细节。根据测试需求选择合适的数值孔径，以确保足够的分辨率。工作距离：工作距离是指物镜前端到样品表面的距离。
白光干涉轮廓仪的选材关键在于干涉物镜，它们对仪器的性能起着决定性作用。ZYGO提供一系列精心设计和制造的干涉物镜，以适应各种苛刻的测试需求，包括光学分辨率、工作距离、齐焦距离、坡度能力、视场范围等关键特性。
ZYGO SureScan抗振白光干涉扫描技术广泛应用于各种需要高精度测量的领域，如半导体制造、光学元件加工、精密机械制造等。在这些领域中，微小的尺寸变化和表面形貌差异都可能对产品的性能和质量产生重要影响。
【常用光学元器件】光学元件的质量参数(1)
光学元件的质量参数中，表面质量和表面平整度是两个关键指标，具体介绍如下：表面质量（Surface Quality）定义：光学元件的表面质量主要描述其外观表现，尤其是划痕和凹坑等缺陷。这些缺陷会导致局部能量积累和散射光增加，对某些光学元件的性能产生显著影响。影响：用于成像的光学元件表面缺陷会大大影响成像质量。
光学元件的质量参数主要包括表面质量和表面平整度。 表面质量 定义：表面质量主要指光学元件的外观表现，特别是如划痕和凹坑等可能影响能量累积与光散射的缺陷。 评价指标：Scratch/Dig 是常用的指标。
通常，直径的生产公差为：+0.00/-0.10 mm（一般质量），+0.00/-0.050 mm（精密质量），+0.000/-0.010 mm（高质量）。中心厚度公差 光学元件（如透镜）的中心厚度会影响光学性能，因为它决定了光线穿过透镜的光学路径长度。
常用光学实验器件包括但不限于以下几种：防震工作台（光学平台）防震工作台是光学实验中不可或缺的基础设备。它具有抗震性强、安装孔多等特点，适合安装各类实验仪器和设备。使用防震工作台可以有效地减少外界振动对实验的影响，提高实验的准确性和稳定性。
又称光来学元件。光学系自统的基本组成单元。大部分光学零件起成像的作用，如透镜、棱镜、反射镜等。另外还有一些在光学系统中起特殊作用（如分光、传像、滤波等）的零件，如分划板、滤光片、光栅用以光学纤维件等。全息透镜、梯度折射率透镜、二元光学元件等，是一二十年来出现的新型光学零件。
棱镜是一种具有多边形截面的透明介质，能够使光线发生折射。在实验中，棱镜常被用来演示光的折射现象，分析不同颜色光的折射率差异，以及进行色散实验。通过棱镜，我们可以观察到白光分解成多种颜色的光谱。光栅是一种特殊的光学元件，能够产生干涉火焰条纹，用于进行光谱分析。
资深光学工程师带你读懂ZYGO干涉仪面形数据——从PV到Zernike的全面解析...
ZYGO干涉仪的数据常规可以使用官方的MetroPro或新版的Mx软件打开其*.dat格式的数据，并进行相应的数据处理和分析。然而，新版软件有严格的授权限制，可能制约了从业人员的使用场景。
光学面形指标PVr是ZYGO公司推荐使用的一种新的计量分析结果，用于替代传统的PV值。PVr的得到方式如下：PVr = PV 36Zernikes + 3 × σ 36 ZernikeResid PVr一般要求基于圆孔径数据，其数值结果由两部分组成：第一部分：是经过36项泽尼克拟合后形貌的PV峰谷值。
以一块150mm口径参考面为例，其36项Zernike拟合的PV为0nm，残差RMS为0.5nm，计算出的PVr为0nm。而在Zygo MetroPro软件的GPI_PVr.app中，通过导入面形数据，可以直观看到36项Zernike拟合、残差分布和PVr图的差异，进一步验证了PVr的实用性。
MetroPro软件支持多种ZYGO干涉仪型号，确保用户在不同设备上的数据兼容性。同时，软件提供了丰富的接口和插件，方便用户与其他光学软件进行数据交换和协同工作。功能全面：MetroPro具备强大的数据处理能力，可以对干涉仪采集的数据进行精确的分析和计算。
